無塵室有五個特性：

（l）耐久性；（2）成本；（3）適應性；（4）可維護性；（5）清洗。

（1）耐久性：

無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。

（2）清洗：

在制藥和生物工學工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場，清洗真正地是一個最重要的企業(yè)。

（3）成本：

微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。

（4）適應性：

一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢，而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵，所以他們從不將最初的設計定型。

（5）維護性：

對無塵室C/R而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區(qū)域的小房間，曾有人說：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復雜的系統(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子，故其設計必須。

許多了解無塵室的人都贊同，次擁有無塵室的擁有者，應使用較好之C/R建筑或工程設計公司或了解建筑C/R設計之建筑承包商若假設他們不了解，則必會浪費一大筆不必要花的錢，故選擇一建造C/R的公司也是非常重要的。

對C/R而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而全面層流都是沖孔式。

乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

對于半導體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

另外，C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優(yōu)點為，放置方式并沒有嚴格的限制。

C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護層，否則亦會腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護層7，而使用玻璃作的C/R會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會產(chǎn)生幽閉恐懼癥。

無塵室用空調(diào)箱選用時應注意的事項

本篇文章所討論到問題就是選用清凈室之AHU所應考慮到的問題。對每個工程師或設計師而言，選用清凈室的空調(diào)系統(tǒng)大概是最復雜的問題之一，因為清凈室之空調(diào)條件要比平常的空調(diào)區(qū)間來的復雜且較嚴格，人都用于醫(yī)院、藥品制造、精密電子零件制造場等。

選用正確的設備是設計者應盡的義務。本篇文章將其分成幾個部份作討論，吾將其作為整理后作成下列報告。

（一）就政府法令而言

各個政府對清凈式的設計條件要求不同，應注意設計時政府之時令。設計清凈室之AHU應府合FDA法規(guī)或 EPA排放空氣法則。IAQ已漸漸被重視，設計時應注意IAQ之法規(guī)。視使用場合而定，過濾方法又可分成機械過濾法與化學過濾法。初級過濾，中級過濾，高效過濾與無菌的環(huán)境以機械過濾法即能達成。為達到排氣之環(huán)境要求化學洗滌器（scrubber），焚化爐或更多的機械及化學過濾設備必需被應用?；钚蕴蓟蚋咤i酸鹽能有效達到化學過濾的要求。

（二）就成本而言

在一些外表特殊的建筑物中，那些增加的設計和設備使用的費用在長期的利益中須作正確的判斷。在一些特別的應用上，通常都習慣設計兩至三次的過濾以達到所要求的狀態(tài)。傳統(tǒng)的清凈室若遇上要求較為嚴格的部份時，設計必須有許多額外加價的部份。清凈室應盡量避免停機的現(xiàn)象，在建造的成本里必須注意耐久性及可*度。在風門調(diào)整上，設計者設計時，對溫度及濕度的要求不同，就像是在設計人們的居住環(huán)境一般。在居住環(huán)境中，停機期和溫濕度上的要求較放置設備上來得高。所以質(zhì)量上及所提供的服務成果是不能忽視的。在特殊的清凈室傳送或接收的設備，在錯誤修改應用上費用是比較昂貴的，且若不能與設計圖上一樣，可能會無法執(zhí)行。在設計特殊的清凈室時，建筑的成本中包括運轉(zhuǎn)成本，而運轉(zhuǎn)成本又包括須能持續(xù)運轉(zhuǎn)的馬達成本及修護成本。成本的歸納有裝置費，持續(xù)運轉(zhuǎn)費，維修費。計算運轉(zhuǎn)成本必須考慮到能量的消耗及效率的高低。就高效率或新機臺啟動前，會先引進外氣，這樣對旋轉(zhuǎn)的原動力、交流板、排氣的管路和空氣回流混合系統(tǒng)中，長期使用可保持較高的效率。在操作上和持續(xù)運轉(zhuǎn)費用上必須考慮是否提高整個的設備費用。

（三）就工作參數(shù)設定而言

特有的溫度、濕度噪音、振動及運作的環(huán)境要求下，大部份將影響到設備的選用。就某些實例而言，溫濕度的設定點在可接受的范圍內(nèi)必須要維持在一個長時期或較完整的環(huán)境及過程。清凈室的加熱力法可用熱水、水蒸氣瓦斯和電能，可用冰水，乙醇或冷媒冷卻。使用水蒸氣、注射器、噴霧器及滲透的方法可以加濕。當評估加濕的來源時，特別要注意的是加濕過程和加濕的方法是否保證清潔。典型的清凈室通風管理裝置使用一個有吸收力或吸附力的物質(zhì)去除大氣中的濕氣或使用低溫乙醇螺管系統(tǒng)去濕。溫濕度設定后，就必須考慮空氣流量參數(shù)是否滿足所需。典型的清凈室必須維持在大氣常壓下。因此房內(nèi)之壓力及體積之值必須適當予以控制。風扇的噪音與震動必須被考慮上去。適當?shù)难b配器材及馬達轉(zhuǎn)速可避免不必要的噪音和振動。風扇結(jié)構(gòu)可使用皮帶驅(qū)動或直接驅(qū)動。風速控制及可變頻率控制可以依體積需要來決定噪音及振動的限度。最普通的減振方法為裝置彈簧基座、固定基座及將空調(diào)箱遠離。常用的聲音衰減器有可動式地板、緩沖機和風扇彎曲度及伸縮度控制。聲音衰減器隔離風扇和設計成薄的特性，可降低幾度音階結(jié)合。除了粒子的控制之外，特別要考慮的有（a）帶細菌的操作過程，（b）腐蝕物或有毒的化學物品，（c）揮發(fā)性或易爆發(fā)的藥劑，（d）還有室內(nèi)及排氣的空氣質(zhì)量，（e）安全，（f）設備壽命和保養(yǎng)能力等。

（四）就建筑考慮方面

空間的使用率會影響AHU的實際大小。保養(yǎng)門和通路儀表板的位置必須謹慎地決定，特別是位于小空間的設備。應防止表面凝結(jié)，除了涉及濕氣作用和凝結(jié)在設備的外部之外，濕氣對于空氣傳遞設備內(nèi)部構(gòu)成要素也有不利的影響，混氣對內(nèi)部構(gòu)成也有不利影響，將使壽命縮短，成本提高。濕氣作用將會散布弊病和污染物，便得效率低的令人害怕。減低建筑物的腐蝕物質(zhì)和鋁、不銹鋼或涂上一層合金，可以使用上列物質(zhì)使清凈室壽命增加。設計設備空間時，應保留適當?shù)耐?，以備打掃或維修用。對于銅制的、不銹鋼制和鋁制的盤管，應注意那種場合適用那些盤管。

（五）就管理合成物的規(guī)格方法

詳述一C/R的AHU是一個極大的工作，并完全增加探討和了解這加工方法能夠提供其范圍于C/R環(huán)境，可使用的操作上和地理性的參數(shù)運用上也必須被估量。

有專業(yè)和有經(jīng)驗的AHU廠商能夠協(xié)助使用者在使用上的復雜細節(jié)以使機器不會過量設計，此項重點在C/R設計階段即應詳加注意。

其要求是否容易對材料的選擇而言天花板中的濾網(wǎng)有許多種，其最怕的就是粒子泄漏。