車間以銀白與淺灰為基調(diào),搭配亮黃警示線條,構(gòu)建出無(wú)塵、高效的生產(chǎn)空間。?
核心區(qū)域可見百級(jí)潔凈度的光刻車間,頂部密布FFU風(fēng)機(jī)過濾單元,通過垂直層流控制微粒濃度(≤0.3μm顆粒每立方米<100個(gè))。操作臺(tái)采用防靜電材質(zhì),配備離子風(fēng)扇消除靜電干擾。?
生產(chǎn)線配備全自動(dòng)晶圓傳送機(jī)械臂、激光焊接設(shè)備,透明防塵罩與實(shí)時(shí)粒子計(jì)數(shù)器確保工藝穩(wěn)定性。走廊設(shè)置防靜電地板與人員凈化通道,風(fēng)淋時(shí)間嚴(yán)格控制在30秒,全方位滿足微電子元件的超高潔凈生產(chǎn)需求。